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1.1.1 气体定律1

1.1.2 气体分子的速率1

第1篇 真空工程的技术基础1

第1章 稀薄气体动力论1

1.1 稀薄气体在平衡态下的物理特性1

1.1.4 气体分子自由程及其分布律2

1.1.3 气体分子之间的碰撞2

1.1.5 气体分子对表面的入射3

1.2.1 气体的动量迁移4

1.2 稀薄气体在非平衡态下的迁移4

1.1.6 气体分子从表面的反射4

1.2.2 气体的能量迁移6

1.2.3 气体的质量迁移7

1.2.4 热流逸现象8

1.2.5 分子辐射力现象9

1.3.1 流动状态及其判别10

1.3 稀薄气体的流动10

1.3.4 分子流态的流量——克努曾公式11

1.3.3 黏滞流态的流量-泊谡叶公式11

1.3.2 流动参量11

1.3.5 过渡流态的流量12

2.1.2 蒸气压13

2.1.1 蒸汽13

第2章 真空中的相变与气固界面现象13

2.1 蒸发和凝结13

2.1.3 蒸发率和凝结率14

2.2.1 吸附机理15

2.2 吸附15

2.2.2 吸附参量17

2.2.3 物理吸附与化学吸附19

2.2.4 吸附动力学20

2.2.5 吸附等温线21

2.3.1 气体在固体中的溶解22

2.3 溶解、扩散和渗透22

2.3.2 气体在固体中的扩散与渗透23

3.1.1 荷能原子、离子与表面25

3.1 荷能粒子与表面25

第3章 真空中的电现象25

3.2.1 电子发射基础27

3.2 电子发射27

3.1.2 荷能电子与表面27

3.2.2 热电子发射28

3.2.4 二次电子发射29

3.2.3 场致发射29

3.3 气体放电30

3.2.5 光电子发射30

3.3.1 气体放电中的粒子碰撞31

3.3.3 气体放电特性34

3.3.2 带电粒子在气体中的运动34

3.3.4 气体放电实验及伏安特性曲线35

3.3.5 汤生放电36

3.3.6 破裂电压与巴邢定律38

3.3.7 辉光放电39

3.3.8 弧光放电42

3.3.9 其他类型放电44

3.4.2 电磁偏转46

3.4.1 电磁加速46

3.4 带电粒子在电磁场中的运动46

3.4.3 磁聚焦48

3.4.4 带电粒子在恒定电场中的运动49

3.4.5 带电粒子在正交均匀电磁场中的运动50

3.4.6 带电粒子在径向电场及轴向磁场中的运动52

4.1.1 液环泵的工作原理及特点53

4.1 液环式真空泵53

第2篇 真空工程的基础元件53

第4章 机械真空泵53

4.1.2 液环泵的基本类型与结构54

4.1.3 液环泵的设计计算55

4.1.5 液环泵的使用与注意事项60

4.1.4 液环泵的常见故障及消除方法60

4.2.1 往复泵的结构和工作原理61

4.2 往复式真空泵61

4.2.2 往复泵的主要性能参数62

4.2.3 往复泵的气阀设计65

4.2.4 往复泵设计中的几个问题67

4.2.5 往复泵的使用与维护69

4.3.2 工作原理和结构特点70

4.3.1 概述70

4.3 旋片式真空泵70

4.3.3 性能参数及主要几何尺寸的确定73

4.3.4 气镇量的计算76

4.3.5 旋片泵的运行和维护77

4.4.1 概述79

4.4 滑阀式油封机械泵79

4.4.2 滑阀泵的工作原理和结构特点80

4.4.3 滑阀泵性能参数和主要几何尺寸的确定81

4.4.4 滑阀泵的质量平衡与减振83

4.4.5 机械泵油84

4.4.6 滑阀式真空泵常见故障及其消除方法85

4.5.1 概述86

4.5 罗茨式真空泵86

4.5.2 罗茨泵的工作原理及其结构特点87

4.5.3 罗茨泵的主要参数确定89

4.5.4 罗茨泵的转子型线94

4.5.5 抽气速率的计算方法97

4.5.6 罗茨泵的主要尺寸的确定99

4.5.7 罗茨泵的使用与维护100

4.6.1 概述102

4.6 爪型干式真空泵102

4.6.3 爪型转子的理论型线103

4.6.2 工作原理103

4.6.4 爪型干式真空泵的几何性能110

4.6.5 爪型干泵的结构特点111

4.7.2 涡旋泵工作原理与结构113

4.7.1 概述113

4.7 涡旋干式真空泵113

4.7.3 涡旋泵几何参数与啮合条件114

4.7.4 涡旋泵的设计计算115

4.7.5 密封部位的泄漏量117

4.8 螺杆式真空泵119

4.7.6 涡旋泵的主要性能参数119

4.8.2 螺杆式真空泵的结构120

4.8.1 螺杆式真空泵的工作原理120

4.8.3 螺杆式真空泵转子的型线122

4.8.4 螺杆式真空泵的几何特性125

4.9.1 概述128

4.9 分子真空泵128

4.9.2 牵引分子泵的抽气原理与结构特点129

4.9.3 多槽螺旋式牵引分子泵的设计原理131

4.9.4 涡轮分子泵的抽气原理及结构特点135

4.9.5 涡轮分子泵抽气性能的计算138

5.1.2 水喷射泵的工作原理143

5.1.1 水喷射泵的主要用途143

第5章 喷射真空泵143

5.1 水喷射泵143

5.1.4 水喷射泵的设计与计算方法144

5.1.3 水喷射泵的主要结构形式144

5.1.5 水喷射泵的安装形式145

5.1.6 水喷射泵常见故障及排除方法146

5.2.3 水蒸气喷射泵的抽气特性147

5.2.2 水蒸气喷射泵的工作原理147

5.2 蒸汽喷射泵147

5.2.1 概述147

5.2.4 多级喷射泵系统的组成和结构148

5.2.5 水蒸气喷射泵的设计计算151

5.2.6 水蒸气喷射泵的常见故障及消除方法153

5.3.1 油扩散泵的结构154

5.3 油扩散泵154

5.3.3 油扩散泵的抽气特性155

5.3.2 扩散泵的工作过程155

5.3.4 油扩散泵的加热功率158

5.3.6 油扩散泵的使用与维护159

5.3.5 扩散泵工作液159

5.4.2 油增压泵的结构161

5.4.1 油增压泵的工作原理161

5.4 油扩散喷射真空泵161

5.4.3 油增压泵的抽气特性162

5.4.4 油增压泵的使用与维护164

6.1.3 主要性能参数165

6.1.2 分类与结构165

第6章 气体捕集真空泵165

6.1 低温泵165

6.1.1 抽气机理和性能特点165

6.2.2 原理与结构167

6.2.1 特点及应用范围167

6.1.4 设计原则和程序167

6.2 溅射离子泵167

6.2.3 设计与计算要点168

6.3 钛升华泵169

6.4.2 电离器的结构171

6.4.1 电离升华泵的工作原理171

6.4 电离升华泵171

6.5.1 分子筛的结构及其抽气原理172

6.5 分子筛吸附泵172

6.5.2 分子筛吸附泵的结构173

6.5.3 设计与计算要点174

6.6.1 工作原理与结构175

6.6 非蒸散型吸气泵175

6.6.2 设计与计算要点176

7.1.3 真空阀门发展概况178

7.1.2 真空阀门的特点、种类178

第7章 真空阀门178

7.1 概述178

7.1.1 真空阀门的定义、作用178

7.2.1 真空阀门的基本要求179

7.2 真空阀门的设计与计算179

7.1.4 发展前景179

7.2.3 真空阀门的密封180

7.2.2 真空阀门设计步骤180

7.2.4 真空阀门压紧装置及设计计算182

7.2.5 阀盖的传动机构及其设计计算185

7.3.1 隔膜式真空阀门188

7.3 真空阀门原理、形式、性能参数188

7.3.2 电磁真空阀190

7.3.3 真空挡板阀193

7.3.4 真空插板阀201

7.3.5 真空翻板阀208

7.3.6 真空蝶阀209

7.3.7 真空球阀211

7.4.1 真空微调阀216

7.4 真空微调阀、真空放气阀216

7.4.2 真空放气阀218

7.5.2 形式、性能参数222

7.5.1 原理、使用范围222

7.5 玻璃真空活塞222

7.6.1 真空阀门漏气速率（简称漏率）的测试226

7.6 真空阀门性能测试（选自JB/T 6446—92）226

7.5.3 安装、使用、维护226

7.6.3 真空阀门寿命的测试228

7.6.2 真空阀门流导的测试228

8.2.2 焊接229

8.2.1 封接229

第8章 真空密封229

8.1 概述229

8.2 永久密封连接229

8.3.1 柔性密封连接232

8.3 可拆密封连接232

8.3.3 法兰与垫圈相结合的密封连接233

8.3.2 螺纹密封连接233

8.4.1 真空动密封连接的分类245

8.4 真空动密封连接245

8.4.2 接触式真空动密封连接246

8.4.3 非接触式真空动密封连接252

9.1 除尘器260

9.1.1 几种除尘器的工作原理260

第9章 除尘器和挡油器260

9.1.2 除尘过滤器的种类262

9.2.1 挡油帽263

9.2 挡油器263

9.2.2 挡油板264

9.2.3 冷阱266

10.1.1 观察窗的结构类型268

10.1 观察窗268

第10章 观察窗和电板导入部件268

10.1.3 观察窗的设计要点270

10.1.2 真空设备常用的观察窗标准（SJ 1774—81）270

10.2.2 电极导入部件的结构271

10.2.1 电极导入部件密封的设计要求271

10.2 真空室电极导入部件271

11.1.3 真空计的分类及测量范围277

11.1.2 真空度量值的单位277

第11章 真空测量仪器277

11.1 概述277

11.1.1 真空测量的研究对象277

11.1.4 真空测量的特点及真空计的选用原则278

11.2.2 闭式U形管真空计的压力测量原理279

11.2.1 开式U形管真空计的压力测量原理279

11.2 液位式真空计279

11.2.3 U形管真空计结构形式的改进280

11.3.2 压缩式真空计的测量刻度方法及灵敏度281

11.3.1 压缩式真空计的结构与原理281

11.3 压缩式真空计281

11.3.3 压缩式真空计的测量范围282

11.3.4 压缩式真空计的测量误差与标准压缩式真空计283

11.3.5 压缩式真空计的形式及使用注意事项284

11.4.2 电容式薄膜真空计285

11.4.1 机械传动式弹性变形真空计285

11.4 弹性变形真空计285

11.4.3 振膜式真空计286

11.5.1 热传导真空计的工作原理、测量范围及特点287

11.5 热传导真空计287

11.5.2 电阻真空计288

11.5.3 热偶真空计290

11.6.1 热阴极电离真空计291

11.6 电离真空计291

11.6.2 冷阴极电离真空计298

11.6.3 放射性电离真空计300

11.7.1 非对称型磁悬浮转子真空计的结构及工作原理301

11.7 磁悬浮转子真空计301

11.8.2 四极滤质器302

11.8.1 分压力测量或残余气体分析的过程及主要性能302

11.7.2 磁悬浮转子真空计的特点302

11.8 分压力真空计302

11.8.3 射频质谱计303

11.8.5 识谱技术304

11.8.4 飞行时间质谱仪304

11.9.2 静态膨胀法305

11.9.1 绝对真空计校准法305

11.9 真空计校准305

11.9.3 动态流导法306

11.9.4 副标准真空计校准法307

11.10.3 规管安装位置和方法对真空测量的影响308

11.10.2 温度对真空测量的影响308

11.10 真空测量技术308

11.10.1 气体种类对真空测量的影响308

11.10.6 管规和裸规的差异309

11.10.5 热表面与气体相互作用对真空测量的影响309

11.10.4 规管吸放气作用对真空测量的影响309

12.1 真空系统的种类及工作状态311

第12章 常用真空系统的组成与安装311

第3篇 真空工程中常用的真空系统311

12.2.1 真空室的门312

12.2 真空室（被抽容器）312

12.2.2 真空室的冷却313

12.3.2 真空系统的调试及日常维护314

12.3.1 真空系统的安装314

12.2.3 真空室的特殊结构314

12.3 常用真空系统的安装、调试与维护314

13.1.3 材料的许用应力与焊缝系数315

13.1.2 容器的壁厚附加量与最小壁厚315

第13章 真空容器的设计与计算315

13.1 真空容器设计的一般知识315

13.1.1 薄壳壁厚与设计压力315

13.1.4 容器开孔与开孔补强316

13.1.5 压力试验319

13.2.1 圆筒形壳体的设计320

13.2 真空容器壳体的设计320

13.2.4 盒形壳体设计323

13.2.3 圆锥形壳体的设计323

13.2.2 球形壳体的设计323

13.2.5 椭圆球形壳体的设计324

13.2.6 圆环形壳体325

13.3.1 概述326

13.3 圆筒体加强圈的设计326

13.4.2 外压凸形封头327

13.4.1 外压球形封头327

13.3.2 图表法计算加强圈327

13.4 封头设计327

13.4.3 锥形封头332

13.4.4 平盖333

13.4.5 同圆筒体连接的加强球盖335

13.5.2 封头开孔补强336

13.5.1 概述336

13.4.6 井字加强圆形球盖336

13.5 开孔加强设计336

13.5.5 开孔补强计算337

13.5.4 内压圆筒体开孔补强337

13.5.3 外压容器的开孔补强337

13.6.1 螺栓计算338

13.6 法兰及管道设计338

13.5.6 并联开孔的补强338

13.5.7 加强方法338

13.6.2 内压法兰计算340

13.6.4 快开法兰计算342

13.6.3 外压法兰计算342

13.6.5 管道壁厚计算343

14.2.1 流导和流导几率345

14.2 管道的流导计算345

第14章 真空系统的设计与计算345

14.1 概述345

14.1.1 气体流动状态的判别345

14.1.2 真空系统的有效抽速345

14.2.2 流导的计算346

14.3.1 真空系统的抽气方程348

14.3 抽气时间的计算348

14.3.2 低真空下抽气时间的计算349

14.3.5 有关超高真空抽气的一些问题351

14.3.4 几个典型真空度的抽气时间351

14.3.3 高真空下抽气时间的计算351

14.4.1 选主泵353

14.4 真空系统设计353

14.4.2 配泵354

14.4.4 真空系统的典型形式355

14.4.3 贮气罐和维持泵355

14.5.1 镀膜设备真空系统的设计358

14.5 真空系统设计实例358

14.5.2 新型电子束熔炼炉的真空系统设计359

14.5.3 大型准无油真空除气炉的设计360

14.5.4 真空汽相干燥设备的真空系统设计361

14.5.5 76km高空环境模拟试验舱的真空系统的设计363

14.5.6 SSRF增强器真空系统设计364

15.1.3 漏孔、漏率、最大允许漏率365

15.1.2 漏气的判断方法365

第15章 真空系统的检漏365

15.1 概述365

15.1.1 真空检漏的目的及一些基本概念365

15.1.4 漏孔的气流特性366

15.2.2 真空检漏法367

15.2.1 压力检漏法367

15.2 检漏方法分类及对检漏方法的要求与选择367

15.2.5 对检漏方法的要求与选择368

15.2.4 各种检漏方法小结368

15.2.3 背压检漏法368

15.3.1 静态升压法369

15.3 各种检漏方法369

15.3.2 气泡检漏法370

15.3.3 氨气检漏法371

15.3.4 真空计检漏法372

15.3.6 氢-钯检漏法373

15.3.5 离子泵检漏法373

15.3.9 慢性漏气的加速检测法374

15.3.8 放射性同位素检漏法374

15.3.7 荧光检漏法374

15.4.1 高频火花检漏仪375

15.4 真空检漏仪器375

15.4.2 卤素检漏仪376

15.4.3 气敏半导体检漏仪378

15.5.1 氦质谱检漏仪的工作原理379

15.5 氦质谱检漏仪379

15.5.2 氦质谱检漏仪的整体结构380

15.5.3 氦质谱检漏仪的灵敏度及其校准383

15.5.4 检漏方法385

15.6.1 标准漏孔及其常用的结构形式389

15.6 标准漏孔389

15.7 真空检漏工作的注意事项390

15.6.3 标准漏孔使用中应注意的几个问题390

15.6.2 标准漏孔的校准390

16.1.1 真空感应炉概述393

16.1 真空感应炉393

第4篇 真空工程技术的主要应用393

第16章 真空冶炼设备393

16.1.2 真空感应加热与熔炼的物理基础396

16.1.3 真空感应炉的结构设计计算401

16.1.4 真空感应炉的参数计算407

16.1.5 真空感应炉的电源412

16.2.1 真空电弧熔炼概述415

16.2 真空电弧炉415

16.2.2 真空中的电弧416

16.2.3 真空自耗炉的结构及其设计计算417

16.2.4 真空电弧炉的电源和自耗电极的控制433

16.3.1 概述443

16.3 真空电子束炉443

16.3.2 电子束加热原理444

16.3.3 电子束炉的结构445

16.3.4 熔炼功率、熔化速度和送料速度450

16.3.5 轴向电子束发生器453

16.3.6 电子束熔炼炉的主回路462

16.4.1 概述464

16.4 钢液真空炉外精炼464

16.4.2 钢液真空脱气及排除夹杂原理465

16.4.4 钢液炉外精炼的钢种及精炼的冶金效果466

16.4.3 钢液真空处理方法及炉外精炼手段的分类466

16.4.5 钢液真空炉外精炼设备470

16.4.6 钢液真空炉外精炼设备设计中的若干问题486

17.1.1 真空热处理的作用495

17.1 真空热处理的理论基础495

第17章 真空热处理设备495

17.1.3 真空热处理的工艺过程496

17.1.2 真空热处理的特点496

17.1.4 影响真空热处理的工艺参数497

17.2 真空热处理炉的结构设计499

17.2.1 真空热处理炉的分类500

17.2.2 真空热处理炉的结构501

17.3.2 加热功率计算507

17.3.1 设计参数和总体方案的确定507

17.3 真空热处理设备的设计计算507

17.3.3 加热体几何尺寸的设计计算510

17.3.5 水冷却系统的计算511

17.3.4 加热体寿命计算511

17.3.6 气冷风机的设计计算512

17.3.7 淬火油槽的设计512

17.3.8 淬火料筐的传动机构的设计513

17.4 真空热处理炉的典型结构及应用515

17.4.1 真空正压气淬和油淬炉的典型结构515

17.4.2 真空正压气淬的典型应用517

17.4.3 真空油淬的典型工艺519

17.4.4 真空回火炉的典型结构及应用519

17.4.5 真空渗碳炉及其应用520

17.4.6 真空热处理设备的选型520

第18章 真空钎焊与烧结523

18.1 真空钎焊523

18.1.1 真空钎焊及其获得优质钎焊接头的机理523

18.1.2 真空钎焊技术的特点及其应用领域525

18.1.3 钎焊材料与钎焊辅助材料526

18.1.4 真空钎焊工艺532

18.1.5 真空钎焊技术的应用实例539

18.1.6 真空钎焊设备548

18.2 真空烧结553

18.2.1 真空烧结技术的应用及特点553

18.2.2 真空烧结工艺554

18.2.3 真空烧结设备554

19.1.1 概述561

19.1 真空蒸发镀膜561

19.1.2 真空蒸发镀膜原理561

第19章 真空镀膜561

19.1.3 蒸发源566

19.1.4 蒸发源的蒸发特性及膜厚分布576

19.1.5 真空蒸发镀膜设备581

19.1.6 特殊蒸镀技术584

19.2 真空溅射镀膜585

19.2.1 溅射成膜理论586

19.2.2 真空溅射镀膜方法594

19.2.3 直流溅射镀膜595

19.2.4 射频溅射镀膜598

19.2.5 磁控溅射镀膜600

19.2.6 其他溅射方法简介609

19.3 真空离子镀膜610

19.3.1 离子镀的类型610

19.3.2 真空离子镀原理及成膜条件611

19.3.3 等离子体在离子镀膜过程中的作用612

19.3.4 离子镀中基片负偏压的影响614

19.3.5 等离子镀的离化率与离子能量615

19.3.6 离子镀膜性能工艺及其参数选择616

19.3.7 离子镀的特点及应用619

19.3.8 直流二极型离子镀装置620

19.3.9 多阴极型离子镀装置620

19.3.10 ARE活性反应离子镀装置621

19.3.11 射频放电离子镀装置623

19.3.12 空心阴极离子镀624

19.3.13 真空阴极电弧离子镀627

19.3.14 热阴极强流电弧离子镀638

19.3.15 磁控溅射离子镀638

19.4 离子注入与离子辅助沉积技术640

19.4.1 离子注入的理论基础640

19.4.2 离子注入设备644

19.4.3 离子源645

19.4.4 离子注入表面改性机理649

19.4.5 离子注入技术的特点650

19.4.6 离子束辅助沉积技术651

19.5 化学气相沉积技术654

19.5.1 CVD技术的原理、特点及应用654

19.5.2 常压化学气相沉积（NPCVD）技术656

19.5.3 低压化学气相沉积（LPCVD）技术658

19.5.4 等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术660

19.5.5 其他化学气相沉积法666

19.5.6 化学气相沉积技术的应用实例668

20.1.1 真空干燥特性672

20.1 绪论672

20.1.2 真空干燥设备的种类672

第20章 真空干燥672

20.1.3 真空干燥技术与设备的应用673

20.1.4 真空干燥设备的选择681

20.2 普通真空干燥技术与设备683

20.2.1 真空箱式干燥设备683

20.2.2 真空耙式干燥设备688

20.2.3 滚筒式真空干燥机690

20.2.4 双锥回转真空干燥设备695

20.2.5 真空转鼓干燥设备700

20.2.6 真空圆盘刮板干燥设备703

20.2.7 圆筒搅拌式真空干燥设备708

20.2.8 真空振动流动干燥设备710

20.2.9 真空带式干燥设备715

20.2.10 木材真空干燥设备717

20.3 真空冷冻干燥技术与设备721

20.3.1 真空冷冻干燥的基本原理721

20.3.2 真空冷冻干燥设备726

20.3.3 真空冷冻干燥工艺741

20.4 真空气相干燥749

20.4.1 真空气相干燥的原理749

20.4.2 真空气相干燥设备754

21.1.1 VPI技术的基本原理767

21.1 VPI技术的基本原理和工艺过程767

21.1.2 电机VPI工艺过程767

第21章 真空压力浸渍767

21.2.1 VPI工程的主要内容768

21.2.2 VPI设备的总体设计768

21.1.3 真空压力浸漆的作用768

21.2 VPI工程与设备的总体设计768

21.3.1 浸漆罐的设计770

21.3 浸渍罐与贮漆罐的设计770

21.3.2 贮漆罐的设计与计算773

21.4.3 冷负荷的计算777

21.4.2 保温层厚度的确定777

21.4 真空压力浸漆设备的制冷系统777

21.4.1 制冷系统的选择777

21.5 真空压力浸漆设备的液压系统778

21.6 真空压力浸漆设备的加热和输漆系统779

21.7.1 有溶剂浸渍漆781

21.7 浸渍漆781

21.8 VPI设备的使用与维护782

21.7.2 无溶剂浸渍漆782

22.2.1 真空蒸馏的基础知识783

22.2 真空蒸馏原理783

第22章 真空蒸馏783

22.1 概述783

22.2.2 真空蒸馏过程的描述785

22.3.1 间歇式蒸馏装置787

22.3 真空蒸馏装置787

22.3.3 连续蒸馏装置789

22.3.2 半连续蒸馏装置789

22.4 分子蒸馏790

22.3.4 连续精馏装置790

22.4.2 分子蒸馏的特点791

22.4.1 分子蒸馏的基本原理791

22.4.3 分子蒸馏装置的结构792

22.4.4 分子蒸馏装置793

22.4.8 分子蒸馏的控制系统794

22.4.7 分子蒸馏装置的设计原则794

22.4.5 分子精馏设备794

22.4.6 各种分子蒸馏设备的主要特征794

22.4.9 分子蒸馏的应用796

22.4.10 分子蒸馏技术的前景798

23.1.2 真空保鲜原理799

23.1.1 环境对食品贮藏的影响799

第23章 真空包装799

23.1 真空包装保鲜食品799

23.1.4 食品氧化与变色的防止800

23.1.3 真空包装真空度800

23.2.1 真空气体置换保鲜特点801

23.2 真空气体置换保鲜801

23.1.5 真空包装的应用801

23.2.4 肉类气体置换保鲜802

23.2.3 气体置换包装手段802

23.2.2 气体置换保鲜原理802

23.3.1 对包装材料的要求803

23.3 真空包装材料803

23.2.5 水果和蔬菜保鲜803

23.2.6 预制食品保鲜803

23.2.7 面包制品保鲜803

23.3.4 蔬菜水果保鲜薄膜材料805

23.3.3 保持食品风味的高阻隔薄膜材料805

23.3.2 复合膜的用途及构成805

23.4.1 概述806

23.4 真空包装机806

23.3.5 保持食品香味的薄膜材料806

23.3.6 鲜蘑菇包装膜材806

23.4.2 台式真空包装机807

23.4.3 单室真空包装机808

23.4.4 双室真空包装机809

23.4.5 输送带式真空包装机811

23.4.6 热成型真空包装机812

23.4.8 膨松柔软物品的缩体包装机814

23.4.7 吸管式真空充气包装机814

24.1 真空输送原理及应用816

第24章 真空输送816

24.2 真空吸送系统的构成及主要设计参数817

24.3.2 主要设计参数计算819

24.3.1 氧化锌粉真空吸送设备的构成819

24.3 氧化锌粉真空输送设备819

24.3.3 输送设备主要部件结构820

24.3.4 主要性能分析821

24.4.1 真空输粮机工作原理及特点823

24.4 ZS-6型移动式真空输粮机设计823

24.4.2 气力系统的设计与计算824

24.4.3 真空输送系统压力损失计算828

24.5 真空吊车829

24.4.4 风机或真空泵的选择829

24.6.1 真空吸水吸盘结构830

24.6 混凝土真空吸水830

24.6.2 参数选择831

24.6.3 确定施工方案832

24.7.2 真空发生器与真空吸盘工作过程833

24.7.1 真空发生器工作原理833

24.6.4 真吸质量的保证833

24.6.5 真吸在冬季施工的应用833

24.7 真空发生器在真空吸附中的应用833

24.7.3 真空发生器的应用834

25.1.1 真空过滤原理837

25.1 真空过滤的原理及真空过滤机分类837

第25章 真空过滤837

25.1.3 真空过滤机的分类838

25.1.2 真空过滤机的工作原理838

25.2.1 真空过滤机参数的选择和计算839

25.2 真空过滤机的设计计算839

25.2.2 转鼓真空过滤机的功率计算840

25.2.3 带式真空过滤机的功率计算841

25.3.1 刮刀卸料式转鼓真空过滤机842

25.3 转鼓式真空过滤机842

25.2.4 转盘真空过滤机的传动功率计算842

25.3.3 滤布行走式转鼓真空过滤机843

25.3.2 单室型转鼓真空过滤机（无格式转鼓真空过滤机）843

25.4.1 结构与原理844

25.4 圆盘式真空过滤机844

25.4.3 特征及用途845

25.4.2 发展趋势845

25.6 带式真空过滤机846

25.5.3 陶瓷圆盘真空过滤机的特点846

25.5 陶瓷圆盘真空过滤机846

25.5.1 结构特征与操作原理846

25.5.2 应用846

25.6.2 移动室型带式真空过滤机847

25.6.1 固定室型真空带式过滤机847

25.6.4 连续移动盘带式真空过滤机848

25.6.3 滤带间歇运动型真空带式过滤机848

25.7 真空过滤机的选型849

25.8.1 过滤在选矿工业中的应用851

25.8 真空过滤机的应用851

25.8.2 过滤在冶金生产中的应用（以钴的冶炼为例）854

25.8.3 真空过滤在煤炭工业中的应用856

25.8.4 真空过滤在化学工业中的应用857

25.8.5 过滤在食品生产中的应用（以柠檬酸的生产为例）858

26.1.3 中国空间真空技术发展860

26.1.2 研究范畴860

第26章 空间真空技术860

26.1 概述860

26.1.1 特性860

26.2.1 真空环境861

26.2 宇宙空间环境861

26.2.4 微重力环境862

26.2.3 太阳辐射862

26.2.2 分子沉环境862

26.2.7 空间碎片环境863

26.2.6 诱发的气体环境863

26.2.5 原子氧环境863

26.3.1 真空获得问题分类864

26.3 在轨航天器中的真空获得技术864

26.2.8 空间真空环境和航天器的相互作用864

26.3.3 航天器真空装置在轨排气技术865

26.3.2 航天器周围的分子环境865

26.4.1 定义及理论研究869

26.4 极高真空技术869

26.4.3 限制极高真空系统极限压力的因素870

26.4.2 现状与发展870

26.4.4 获得极高真空技术的方法877

26.4.5 用分子技术获得10-11Pa极高真空880

26.5.2 空间环境模拟基本参数及物理特性882

26.5.1 空间环境模拟试验重要性882

26.4.6 极高真空技术的应用882

26.5 空间环境模拟试验与设备882

26.5.3 空间环境模拟试验及设备分类884

26.5.4 中国典型空间环模设备885

26.6.1 真空获得891

26.6 发展与展望891

26.6.5 空间真空新工艺892

26.6.4 质谱与检漏892

26.6.2 真空测量892

26.6.3 空间材料的真空效应892

27.1.3 真空在核电设备制造中的应用893

27.1.2 真空在核电燃料生产中的应用893

第27章 真空在核物理装置中的应用893

27.1 真空在核电工程中的应用893

27.1.1 概述893

27.1.4 真空在核电站运行中的应用894

27.2.3 真空室895

27.2.2 受控核聚变装置真空环境特点895

27.2 受控核聚变装置895

27.2.1 概述895

27.2.5 减少等离子体中杂质措施896

27.2.4 粒子与器壁的相互作用896

27.2.7 HL-2A托卡马克真空系统及烘烤897

27.2.6 托卡马克装置897

27.2.8 HT-7超导托卡马克第一壁He辉光硼化899

27.3 加速器真空系统特点900

27.4.3 6MeV串列加速器真空系统901

27.4.2 高压加速器真空系统901

27.4 高压加速器901

27.4.1 加速管901

27.4.4 高能同步加速器903

27.5.1 真空室设计906

27.5 电子感应加速器906

27.4.5 回旋加速器真空系统906

27.5.2 韧致辐射强度与真空度的关系907

27.6.1 真空室设计908

27.6 直线加速器908

27.5.3 电子感应加速器真空系统908

27.6.2 行波直线加速器真空系统909

27.6.3 驻波直线加速器真空系统910

27.6.4 电子直线加速器真空系统911

28.1.2 国内外发展概况912

28.1.1 离子束刻蚀的特点与应用912

第28章 离子束刻蚀技术912

28.1 概述912

28.2.1 工作原理913

28.2 工作原理和主要性能913

28.1.3 发展前景913

28.2.2 离子束刻蚀机主要性能914

28.3.1 真空系统的设计计算917

28.3 真空系统设计917

28.4.1 离子源离子引出计算918

28.4 离子源的设计918

28.3.2 离子束刻蚀机结构设计要点918

28.5.1 电源的特殊要求919

28.5 离子源电源设计919

28.4.2 离子源结构设计919

28.6.1 离子源特性测试方法920

28.6 离子源和真空系统性能测试方法920

28.5.2 LSK型电源的特点920

28.7.1 LSK-6型离子束刻蚀机921

28.7 离子束刻蚀设备简介921

28.6.2 真空系统性能测试方法921

28.7.3 DSJ-4型离子束刻蚀机922

28.7.2 LSK-2（2A）型离子束刻蚀机922

28.8 离子束刻蚀工艺925

28.7.5 国内外离子束刻蚀机性能指标925

28.7.4 RIBE-200型离子束刻蚀机925

28.9.1 LSK型离子束刻蚀机的操作927

28.9 离子束刻蚀机的操作与维护927

28.9.2 维护928

28.9.3 检修929

29.1 概述931

第29章 真空绝热与低温容器和真空玻璃931

29.2.1 绝热材料的种类及一般特性932

29.2 绝热材料932

29.2.2 绝热材料的热物理性质934

29.2.3 绝热材料的选择935

29.3.1 高真空绝热936

29.3 真空绝热机理936

29.3.2 真空粉末及真空纤维绝热937

29.3.3 真空多层绝热939

29.3.4 真空绝热的选择940

29.4.1 概述941

29.4 低温容器941

29.4.3 低温容器典型结构介绍944

29.4.2 低温容器的种类944

29.4.4 低温容器设计要点951

29.4.5 低温容器的特性及计算952

29.5 真空绝热管道956

29.6.1 真空多层绝热夹层中的气源957

29.6 真空多层绝热夹层抽真空技术957

29.7.1 真空玻璃概述958

29.7 真空玻璃958

29.6.2 真空多层绝热夹层中的抽真空958

29.6.3 在真空多层绝热夹层中装吸附剂958

29.7.3 真空玻璃的性能959

29.7.2 真空玻璃的结构和生产制造959

29.7.4 真空玻璃的隔热原理961

29.7.6 真空玻璃的除气与抽空962

29.7.5 真空玻璃中的应力962

29.7.7 真空玻璃技术的产业化与市场963

30.1.2 材料的扩散与渗透性965

30.1.1 真空系统平衡方程965

第5篇 真空工程材料与工艺965

第30章 真空材料的性能965

30.1 材料的真空性能965

30.1.3 材料的放气969

30.1.4 材料的蒸发、升华、蒸气压972

30.2.2 真空材料的选材原则974

30.2.1 真空材料的其他性能974

30.2 真空材料的其他性能及选材原则974

31.2.2 碳钢及不锈钢976

31.2.1 铸件976

第31章 真空工程常用材料976

31.1 真空材料的种类976

31.2 金属材料976

31.2.3 有色金属978

31.2.4 贵重金属981

31.2.5 软金属982

31.2.6 难熔金属983

31.2.7 汞（Hg）985

31.3.1 玻璃986

31.3 非金属材料986

31.2.8 合金986

31.3.2 陶瓷988

31.3.4 碳（石墨）及碳纤维制品990

31.3.3 塑料990

31.3.5 橡胶992

31.4.1 机械泵油993

31.4 真空泵油993

31.4.2 扩散泵油994

31.5.5 真空黏结剂995

31.5.4 真空漆995

31.4.3 扩散喷射泵油（增压泵油）995

31.5 辅助密封材料995

31.5.1 真空封蜡995

31.5.2 真空封脂995

31.5.3 真空封泥995

31.6.1 吸气剂996

31.6 吸气剂与吸附剂996

31.6.2 吸附剂997

31.7.1 制冷剂998

31.7 低温制冷系统工作介质998

31.7.2 载冷剂（冷媒）1001

32.1.2 表面净化处理的基本方法1004

32.1.1 概述1004

第32章 真空工程中的常用工艺1004

32.1 真空材料的表面净化处理1004

32.1.3 清洗的基本程序1009

32.2.1 材料除气的基本方法1010

32.2 真空材料的除气1010

32.1.4 非金属材料的清洗1010

32.2.2 玻璃及陶瓷材料的除气1013

32.2.3 金属材料的除气1014

32.2.5 超高真空系统的烘烤除气1016

32.2.4 电真空器件的除气1016

32.3.2 真空焊接的分类1018

32.3.1 真空技术对焊接工艺的要求1018

32.2.6 烘烤除气装置1018

32.3 真空工程用的焊接技术1018

32.3.3 氩弧焊1019

32.3.4 电子束焊1024

32.3.5 激光束焊接1026

32.3.6 超声波焊接1026

32.4 真空工程封接技术1027

32.4.1 玻璃-玻璃封接1027

32.4.2 玻璃-金属封接1028

32.4.3 陶瓷-金属材料的封接1031

32.4.4 其他材料的封接1034

参考文献1035