图书介绍
微机电系统设计与制造PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 莫锦秋等编著 著
- 出版社： 北京：化学工业出版社
- ISBN：7502552375
- 出版时间：2004
- 标注页数：177页
- 文件大小：19MB
- 文件页数：189页
- 主题词：微电机
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图书目录
目 录1
第1章概论1
1.1微机电系统简介1
1.2 微机电系统的起源3
1.3微机电系统的发展现状4
1.3.1 国外的发展现状4
1.3.2 国内的发展现状5
2.1 硅材料8
第2章微机电系统材料8
2.2 压电材料10
2.3形状记忆合金10
2.4超磁致伸缩材料12
2.5凝胶13
2.6 电流变体13
第3章微机械加工技术14
3.1传统超精密与特种加工技术14
3.1.1 超精密机械加工14
3.1.3高能束微机械加工技术15
3.1.2微细电火花加工15
3.2 微机电系统常用的集成电路工艺17
3.2.1 薄膜成形17
3.2.2掺杂技术19
3.2.3 光刻技术20
3.3硅微机械加工技术22
3.3.1体微加工技术22
3.3.2表面微加工27
3.3.3 键合技术28
3.4 光刻电铸模造工艺30
3.5微机械加工实例32
第4章微封装35
4.1 封装技术36
4.1.1 晶片级封装36
4.1.2单芯片封装37
4.1.3 多芯片与微系统封装39
4.1.4 表面微加工法用于封装39
4.3 未来微机电系统封装发展趋势和方向40
4.2 三维堆装40
第5章微检测技术41
5.1 微结构的材料特性检测技术41
5.1.1 弹性模量的测定41
5.1.2微结构材料应力的检测42
5.1.3 微结构材料热物性参数的检测48
5.2微机电系统构件的几何量检测50
5.2.1 光学法测量几何尺寸50
5.2.2 扫描隧道显微测量技术54
5.2.3 薄膜构件的膜厚测量55
5.3微系统的性能检测56
5.3.1 结构动态参数的识别56
5.3.2微执行器运动的检测57
5.3.3 动态微结构的视觉检测法58
第6章微传感器61
6.1 物理传感器61
6.1.1 微型力学量传感器61
6.1.2微型光学量传感器69
6.1.3微型热学量传感器70
6.1.4微型声学量传感器71
6.2微型化学量传感器72
6.2.1微型气体传感器72
6.2.2微型离子敏传感器74
6.3微型生物传感器75
6.3.1 生物传感器的分类75
6.3.2 悬臂梁式生物传感器78
7.1静电执行器81
第7章微执行器81
7.2压电执行器85
7.3 电磁执行器87
7.4 SMA执行器89
7.5 热执行器91
7.6微流体执行器92
第8章微构件94
8.1 结构梁94
8.2 薄膜97
8.3铰链101
8.3.1 平面柔性铰链微铰链101
8.3.2 非平面表面微铰链102
8.4 隧道探针103
8.5压阻换能器件104
8.6静电微构件105
第9章微系统应用108
9.1 在汽车工业中的应用108
9.1.1压力传感器108
9.1.2硅加速度传感器108
9.2微机器人109
9.3微型飞行器111
9.4 在航空航天中的应用112
9.5 在医学中的应用114
9.5.1 植入式人造器官114
9.5.2体内显微手术114
9.5.3微喷雾给药115
9.6在军事中的应用116
9.7 在生物科学中的应用118
9.7.1 DNA PCR扩增芯片119
9.7.2 DNA毛细管电泳芯片120
9.7.3微型DNA流体控制芯片120
9.7.4集成DNA微系统芯片120
9.8 在信息技术中的应用120
9.8.1微光机电器件121
9.8.2 无线电微机电系统123
第10章微尺度效应126
10.1微摩擦基础126
10.2微尺度热学127
10.2.1 热传导的尺度效应127
10.2.2 热交换的尺度效应129
10.2.3热辐射的尺度效应129
10.3微流体的尺度效应129
10.4微执行器的尺度效应131
10.4.2 电磁执行器的尺度效应132
10.4.1 静电执行器的尺度效应132
10.4.3 SMA执行器的尺度效应134
10.5 尺度效应的实例134
第11章微机电系统设计技术135
11.1 引言135
11.2微机电系统设计的概念、任务及类型139
11.2.1 微机电系统设计概念及本质139
11.2.2设计类型140
11.2.3微机电系统设计内容140
11.2.4 VLSI、宏机械以及微机电系统设计141
11.2.5设计原则142
11.3微机电系统设计过程143
11.4微机电系统健壮性设计方法简介145
11.4.1健壮性设计理论145
11.4.2优化算法147
11.4.3 设计实例——两自由度微谐振器149
11.5 微机电系统设计方法学与发展方向151
第12章微机电系统计算机辅助技术153
12.2 MEMS CAD结构体系154
12.1 MEMS CAD设计原则154
12.3 MEMS建模与仿真156
12.3.1加工过程模拟157
12.3.2器件特性仿真158
12.3.3器件行为模型与系统仿真159
12.4宏模型160
12.4.1 微机械宏模型技术现状及类型160
12.5建模语言VHDL-AMS简介162
12.5.1 VHDL-AMS语言的起源：VHDL语言162
12.4.2 宏模型设计的基本原则和常用方法162
12.5.2 VHDL-AMS语言基本特点163
12.5.3 VHDL-AMS语言的语法163
12.5.4微机械系统VHDL-AMS描述举例167
12.6 常用软件介绍168
12.6.1 SUGAR168
12.6.2 AnsysMems171
12.6.3 MEMS Pro174
参考文献177