图书介绍
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- （韩）李基邦（KiBangLee）著；马小军，王国胜，吕强等译 著
- 出版社： 北京：国防工业出版社
- ISBN：9787118094329
- 出版时间：2014
- 标注页数：598页
- 文件大小：65MB
- 文件页数：610页
- 主题词：微电机－理论
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图书目录
第1章 引言1
1.1 微机电系统1
1.2 耦合系统1
1.3 所需知识5
1.4 量纲分析6
习题26
第2章 微制造28
2.1 体微加工和表面微加工28
2.2 光刻31
2.3 层沉积工艺37
2.4 刻蚀法50
2.5 制造工艺设计54
习题57
第3章 静力学59
3.1 静力平衡59
3.2 压—张关系64
3.3 热应力77
3.4 扭转力矩作用下梁的性能84
3.5 力矩—曲率之间的关系87
3.6 梁方程93
3.7 加勒金法105
3.8 能量法114
3.9 梁问题的能量方法124
习题127
第4章 微结构的静力性能129
4.1 微结构的元件129
4.2 通用梁的刚度132
4.3 杆系155
4.4 刚度变换160
4.5 平面结构的静力性能172
4.6 残余应力179
4.7 结构的立方力192
4.8 势能199
4.9 势能间的相似性205
习题211
第5章 动力学214
5.1 三次方程214
5.2 运动的描述220
5.3 动态支配方程224
5.4 势能和动能之间的能量转换228
5.5 无阻尼自由振动系统233
5.6 阻尼系统的振动236
5.7 多自由度系统246
5.8 连续系统254
5.9 有效质量、阻尼和刚度261
5.10 具有重复结构的系统274
5.11 达芬方程282
习题292
第6章 流体动力学295
6.1 黏性流295
6.2 连续方程296
6.3 纳维—斯托克斯方程297
6.4 雷诺方程300
6.5 库埃特流动304
6.6 流体中的振动板305
6.7 蠕动流313
6.8 挤压膜319
习题327
第7章 电磁学329
7.1 电路的基本元件329
7.2 基尔霍夫电流定律333
7.3 静电学341
7.4 由电场产生的力和力矩348
7.5 作用于各种物体的静电力和力矩357
7.6 电磁力370
7.7 作用在电场和磁场中运动电荷上的力378
7.8 压阻382
7.9 压电性389
习题391
第8章 压电和热力驱动器393
8.1 组合梁393
8.2 压电驱动器412
8.3 热力驱动器420
习题449
第9章 静电驱动器和电磁驱动器451
9.1 电磁驱动器451
9.2 梳驱动的驱动器453
9.3 平行板驱动器463
9.4 扭转驱动器483
9.5 两端固定梁驱动器499
9.6 悬梁驱动器511
9.7 间隙接近驱动器的动态响应519
9.8 间隙接近驱动器的近似526
9.9 电磁驱动器534
习题540
第10章 传感器543
10.1 力和压力传感器543
10.2 加速度计557
10.3 静电加速度计567
10.4 振动陀螺仪578
10.5 其他结构585
习题586
附录588
参考文献593