图书介绍
2004年上海大学博士学位论文 64 扫描探针显微镜智能自动化策略研究及应用PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 博士论文编辑部编；黄自元著 著
- 出版社： 上海：上海大学出版社
- ISBN：9787811180701
- 出版时间：2009
- 标注页数：166页
- 文件大小：34MB
- 文件页数：183页
- 主题词：博士－学位论文－汇编－上海市－2004
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图书目录
第一章 绪论1
1.1 引言1
1.2 扫描探针显微镜的发展历程3
1.3 扫描探针显微镜自动化关键技术的研究现状6
1.4 扫描探针显微镜研究和应用中主要存在的自动化问题13
第二章 扫描探针显微镜及其执行机构的工作机理19
2.1 扫描探针显微镜系统结构19
2.2 扫描探针显微镜的工作机理21
2.3 扫描探针显微镜中执行机构的特性描述与分析对比24
2.4 压电执行器在SPM中的应用机理及改进方案35
2.5 本章小结38
第三章 SPM自动化的理论基础39
3.1 引言39
3.2 H∞鲁棒控制43
3.3 自适应滞后补偿控制47
3.4 DNA软计算55
3.5 本章小结60
第四章 滞后补偿控制策略61
4.1 STM反馈控制网络61
4.2 SPM控制策略64
4.3 本章小结83
第五章 回滞非线性校正策略85
5.1 引言85
5.2 ARDNA软计算86
5.3 回滞非线性校正94
5.4 本章小结114
第六章 SPM智能校正及标定的实现策略研究116
6.1 特征数据测量116
6.2 压电执行器建模与非线性校正算法122
6.3 非正交误差测量与校正算法123
6.4 标定算法125
6.5 本章小结126
第七章 SPM智能自动化系统设计及实验127
7.1 软件设计与开发128
7.2 实验设计与结果分析133
7.3 本章小结141
第八章 总结与展望143
8.1 本文总结143
8.2 展望145
参考文献147
致谢165