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电子与光子材料手册 第3册 电子材料 阴影版
  • (加)Safa Kasap,(英)Peter Capper主编 著
  • 出版社: 哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社
  • ISBN:9787560337623
  • 出版时间:2013
  • 标注页数:293页
  • 文件大小:110MB
  • 文件页数:302页
  • 主题词:电子材料-手册-英文;光学材料-手册-英文

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图书目录

Part C 电子材料3

21 单晶硅:电学与光学特性3

21.1 硅基3

21.2 电学特性13

21.3 光学特性34

参考文献40

22 硅-锗:特性、生长和应用43

22.1 硅-锗物理特性44

22.2 硅-锗光学特性50

22.3 硅-锗生长54

22.4 多晶硅-锗56

参考文献59

23 砷化镓61

23.1 GaAs的体生长64

23.2 GaAs的外延生长69

23.3 GaAs的扩散73

23.4 GaAs离子注入75

23.5 GaAs晶格缺陷76

23.6 GaAs的杂质与缺陷分析(化学)79

23.7 GaAs的杂质与缺陷分析(电学)80

23.8 GaAs的杂质与缺陷分析(光学)83

23.9 复杂异质结的评估84

23.10 GaAs的电接触86

23.11 GaAs器件(微波)86

23.12 GaAs器件(电-光)89

23.13 GaAs的其他应用94

23.14 结论94

参考文献95

24 高温电子材料:碳化硅与金刚石99

24.1 材料的特性与制备102

24.2 电子器件109

24.3 总结119

参考文献120

25 非晶态半导体:结构、光学与电学特性127

25.1 电子态127

25.2 结构特性130

25.3 光学特性132

25.4 电学特性135

25.5 光诱导现象137

25.6 纳米非晶态结构139

参考文献140

26 非晶态与微晶硅143

26.1 等离子体SiH4与SiH4H2的反应143

26.2 表面薄生长145

26.3 a-Si:H与μc-SI:H缺陷密度测定151

26.4 器件应用152

26.5 硅薄膜太阳能电池材料的相关问题研究进展153

26.6 总结156

参考文献156

27 铁电体材料159

27.1 铁电体材料163

27.2 铁电体材料制备技术170

27.3 铁电体应用178

参考文献184

28 微电子电介质材料187

28.1 栅极电介质192

28.2 隔离电介质209

28.3 电容电介质209

28.4 互连电介质213

28.5 总结215

参考文献215

29 薄膜221

29.1 淀积形成方法223

29.2 结构244

29.3 特性254

29.4 结论270

参考文献273

30 厚膜279

30.1 厚膜工艺280

30.2 衬底282

30.3 厚膜材料283

30.4 组件与装配286

30.5 传感器290

参考文献293

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