图书介绍

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微机械电子学
  • KenjiUchino著 著
  • 出版社: 北京:科学出版社
  • ISBN:9787030291219
  • 出版时间:2010
  • 标注页数:369页
  • 文件大小:32MB
  • 文件页数:387页
  • 主题词:机电一体化

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图书目录

第1章 致动器和微机械电子学的当前趋势1

1.1对新型致动器的需求1

1.2微定位的传统方法3

1.3固态致动器概述5

1.4重要设计概念和本书结构24

第2章 场致张力的理论描述29

2.1铁电性29

2.2电场感应应变的微观描述36

2.3压电性的张量/矩阵描述38

2.4铁电和反铁电现象的理论描述47

2.5磁致伸缩现象学60

2.6铁电畴的再取向61

2.7铁电体中的晶粒大小和电场感应应变76

第3章 致动器材料76

3.1实用致动器材料76

3.2压电换能器的品质因数95

3.3电致伸缩应变与温度的关系101

3.4响应速度104

3.5致动器的机械特性105

第4章 陶瓷致动器的结构及制造方法123

4.1陶瓷和单晶体的制造123

4.2装置设计128

4.3电极材料153

4.4市场上现有的压电致动器和电致伸缩致动器156

第5章 压电致动器的驱动/控制技术162

5.1压电致动器的分类162

5.2反馈控制163

5.3脉冲驱动177

5.4谐振驱动187

5.5微机电系统的传感器和特殊元器件194

第6章 损耗机理与发热210

6.1压电体的迟滞和损耗210

6.2压电体中的发热228

6.3硬性和软性压电材料234

第7章 压电结构有限元法简介241

7.1背景知识241

7.2定义问题的方程242

7.3有限元法的应用244

第8章 伺服位移传感器的应用253

8.1变形镜253

8.2显微镜载物台258

8.3高精度线性位移装置259

8.4伺服系统263

8.5VCR(录像机)磁头跟踪致动器268

8.6振动抑制和噪声消除系统269

第9章 脉冲驱动电机应用273

9.1成像系统的应用273

9.2尺蠖装置276

9.3点阵打印机机头280

9.4喷墨打印机286

9.5压电继电器289

9.6自适应悬挂系统292

第10章 超声波电机的应用295

10.1超声波电机的概述及分类295

10.2驻波电机300

10.3混合模态电机304

10.4行波电机307

10.5模态旋转电机317

10.6不同超声波电机的性能比较319

10.7微型步行机械320

10.8超声波电机速度和推力的计算322

10.9设计超声波电机的要点325

10.10超声波电机的其他应用331

10.11磁电机334

10.12超声波电机的可靠性334

第11章 微机械电子系统中陶瓷致动器的展望341

11.1从专利统计看发展趋势341

11.2压电致动器/超声波电机市场342

11.3致动器设计的未来趋势345

索引356

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