图书介绍
大规模集成电路专用设备研讨暨学术交流会论文选 中PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 著
- 出版社：
- ISBN：
- 出版时间：1984
- 标注页数：74页
- 文件大小：2MB
- 文件页数：75页
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图书目录
光刻1
参观84年美国半导体设备和材料展览会1
JK—1型接近式光刻机图形传递特性分析3
国外分步重复投影光刻机(DSW系统)动态15
1∶1扫描投影光刻机实验气浮导轨23
适用于微细投影曝光的自动调焦调平系统31
“环带校正板”在接近/接触式光刻机照明系统中的应用36
国外光刻机的发展趋势44
测试47
掩模质量和质量检测47
其他56
干法腐蚀终点检测综述56
集成电路专用设备ZPZ——1型自动芯片粘结机65
高速、多相、高精度、程控时钟发生器69
报道74
为集成电路光学专用设备的发展献计献策——研究讨论暨学术交流会情况74