图书介绍
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- 朱勇，张海霞编著 著
- 出版社： 北京市：北京大学出版社
- ISBN：9787301173787
- 出版时间：2010
- 标注页数：191页
- 文件大小：135MB
- 文件页数：202页
- 主题词：微电机－传感器－高等学校－教材
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图书目录
第一章 MEMS概论1
1.1 MEMS的定义1
1.2 MEMS的基础理论1
1.2.1 微机械常用材料1
1.2.2 微机械的固体力学问题4
1.2.3 微机械的工作原理6
1.2.4 微构造特性6
1.3 MEMS的制造技术8
1.3.1 微电子加工工艺8
1.3.2 精密加工9
1.3.3 特种加工9
1.4 MEMS技术的应用10
1.4.1 MEMS传感器的应用10
1.4.2 射频MEMS器件的应用11
1.4.3 生物MEMS的应用12
1.4.4 光学MEMS的应用13
1.5 MEMS的发展前景14
习题15
参考文献15
第二章 机械微传感器的应用17
2.1 位移微传感器17
2.1.1 基本概念17
2.1.2 电容和电感式位移微传感器17
2.1.3 光学位移微传感器17
2.1.4 超声波位移微传感器18
2.2 速度和流速微传感器19
2.2.1 基本概念19
2.2.2 热电式流速微传感器19
2.2.3 电容式流量微传感器21
2.2.4 压阻式流量微传感器22
2.2.5 共振桥式流量微传感器23
2.3 微型加速度计24
2.3.1 基本概念24
2.3.2 压阻式微加速度计26
2.3.3 压电式微加速度传感器28
2.4 力、压强和应变微传感器30
2.4.1 基本概念30
2.4.2 力微传感器31
2.4.3 应力敏感的电子器件31
2.4.4 硅微压强传感器32
2.4.5 电阻式应变微传感器33
2.5 质量微传感器34
2.5.1 基本概念34
2.5.2 压电式质量微传感器34
2.5.3 表面声波谐振传感器35
习题35
参考文献35
第三章 热微传感器的应用37
3.1 热机械传感器37
3.2 热敏电阻40
3.2.1 热阻效应40
3.2.2 金属热敏电阻40
3.2.3 半导体热敏电阻43
3.3 热二极管46
3.3.1 基本原理46
3.3.2 集成的热二极管48
3.4 热晶体管49
3.4.1 基本原理49
3.4.2 集成的热晶体管49
3.5 热电偶50
3.6 其他电测量热微传感器54
3.6.1 热开关54
3.6.2 微热量计54
3.7 其他非电测量热微传感器54
3.7.1 温度计54
3.7.2 温度指示器和光纤传感器55
3.7.3 表面声波温度微传感器56
习题57
参考文献57
第四章 磁微传感器的应用59
4.1 霍尔效应器件60
4.1.1 霍尔效应60
4.1.2 霍尔器件的工作原理61
4.1.3 半导体中的霍尔效应63
4.1.4 霍尔传感器63
4.2 磁阻效应器件73
4.2.1 磁阻效应73
4.2.2 磁阻器件76
4.2.3 磁阻传感器的应用举例78
4.3 磁敏二极管和磁敏三极管80
4.3.1 磁敏二极管80
4.3.2 磁敏三极管84
4.4 磁通门微磁强计88
4.4.1 磁通门微磁强计的结构88
4.4.2 磁通门微磁强计的原理89
4.4.3 磁通门微磁强计的应用89
4.5 隧道效应磁强计90
4.5.1 隧道效应磁强计的结构90
4.5.2 隧道效应磁强计的原理91
4.5.3 隧道效应磁强计的性能参数91
4.6 超导量子干涉磁强计92
4.6.1 约瑟夫森效应92
4.6.2 磁场对直流约瑟夫森效应的影响93
4.6.3 SQU1D器件94
习题95
参考文献95
第五章 光学微传感器与辐射微传感器应用97
5.1 光学微传感器97
5.1.1 光学微传感器的主要性能参数99
5.1.2 直接型光学传感器100
5.1.3 光敏电阻传感器103
5.1.4 间接光学微传感器113
5.2 辐射微传感器114
5.2.1 辐射粒子114
5.2.2 光谱115
5.2.3 核辐射传感器117
习题120
参考文献120
第六章 化学微传感器与生物微传感器的应用121
6.1 化学微传感器121
6.1.1 离子敏传感器121
6.1.2 气敏传感器127
6.1.3 湿敏传感器131
6.2 生物微传感器132
6.2.1 酶传感器133
6.2.2 微生物传感器134
6.2.3 组织传感器136
6.2.4 细胞传感器137
6.2.5 免疫传感器138
6.2.6 基因芯片140
习题141
参考文献141
第七章 声波微传感器的应用143
7.1 声波微传感器概述143
7.1.1 声波技术和压电效应143
7.1.2 声波的传播144
7.1.3 声波的探测147
7.2 体声波微传感器149
7.2.1 TSM谐振器149
7.2.2 SH-APM传感器150
7.3 表面声波微传感器151
7.3.1 表面声波的类型151
7.3.2 表面声波的激发152
7.3.3 基本的SAW器件154
7.3.4 SAW传感器的测量原理154
习题156
参考文献156
第八章 微纳传感器应用实例158
8.1 基于手势识别的多功能电子钥匙158
8.1.1 项目介绍158
8.1.2 项目原理158
8.1.3 项目设计方案159
8.2 基于地磁传感器的数字指南针161
8.2.1 项目介绍161
8.2.2 项目原理161
8.2.3 项目设计方案162
8.2.4 项目优点165
8.3 新型宠物伴侣165
8.3.1 项目背景165
8.3.2 设计方案165
8.3.3 系统设计167
8.3.4 软件方案169
8.3.5 系统测试172
8.3.6 巿场前景展望173
8.4 电子便携导盲棒173
8.4.1 项目介绍173
8.4.2 项目原理174
8.4.3 项目设计方案174
8.4.4 市场展望176
8.5 多功能水蒸发器176
8.5.1 项目介绍176
8.5.2 项目原理176
8.5.3 项目设计方案177
8.5.4 市场调查分析178
习题179
参考文献179
附录A 美新产品180
A.1 美新加速度传感器180
A.2 美新磁传感器——MMC212xMG182
A.3 美新流量传感器——MFC001183
附录B 敏芯产品186
B.1 敏芯微电子压力传感器——MSPA15A186
B.2 敏芯微电子硅麦克风声学传感器——MSMAS42Z187
附录C 微电子学常用词及缩略语190