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声表面波网络传感器及其在国防工业中的应用
  • 何鹏举,张朋,陈明著(西北工业大学电信学院) 著
  • 出版社: 西安:西北工业大学出版社
  • ISBN:9787561230336
  • 出版时间:2011
  • 标注页数:287页
  • 文件大小:23MB
  • 文件页数:295页
  • 主题词:声表面波器件-传感器

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图书目录

第1章 声表面波理论1

1.1 绪论1

1.2 声表面波理论2

1.3 声表面波传感器理论基础21

参考文献26

第2章 声表面波压力传感器28

2.1 绪论28

2.2 SAW压力传感器的应用前景与国内外研究水平28

2.3 SAW谐振式压力传感器的组成及工作机理30

2.4 SAW压力传感器敏感膜片的力学模型32

2.5 SAW谐振器理论分析与设计49

2.6 SAW压力传感器信号检测与温度智能补偿67

2.7 本章小结88

参考文献89

第3章 声表面波加速度传感器91

3.1 绪论91

3.2 悬臂梁的应力分析和传感原理94

3.3 SAW加速度计模型97

3.4 加速度传感器悬臂梁的几何尺寸设计102

3.5 悬臂梁式SAW加速度计的信号特征及测量方案103

3.6 介质阻尼对悬臂梁微机械系统的影响107

3.7 悬臂梁式SAW加速度传感器系统设计108

3.8 SAW加速度计的测量准确度114

3.9 用浮动零点法消除温度对SAW加速度计测量准确度的影响116

3.10 悬臂梁式加速度传感器信号处理技术118

3.11 本章小结122

参考文献123

第4章 声表面波气体传感器125

4.1 绪论125

4.2 层状声表面波CO气体传感器理论130

4.3 层状结构声表面波元件理论分析149

4.4 掺杂In2O3聚苯胺CO气体敏感膜研究165

4.5 SAW CO气体传感器制备176

4.6 本章小结179

参考文献179

第5章 其他类型声表面波传感器以及声表面波传感器的温度补偿方法研究184

5.1 绪论184

5.2 声表面波角速度传感器184

5.3 声表面波流量传感器209

5.4 声表面波传感器温度补偿方法研究212

5.5 本章小结217

参考文献218

第6章 声表面波传感器网络化及其应用219

6.1 绪论219

6.2 声表面波网络传感器研究225

6.3 声表面波无线传感器网络节点研究251

6.4 声表面波传感器网络化应用实例280

6.5 本章小结284

参考文献284

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