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1.1 材料表面的污染与净化1

1.1.1 材料表面常见的污染形式1

1 真空材料的表面净化处理1

1.1.2 材料表面净化3

1.2 表面净化处理的基本方法4

1.2.1 溶剂清洗4

1.2.2 电化学清洗处理16

1.2.3 加热和辐照清洗18

1.2.4 气体加热还原分解净化表面22

1.2.5 放电清洗28

1.2.6 剥去覆盖涂层清洗28

1.2.7 气体冲洗29

1.3.1 污染物的确定31

1.3.2 清洗方法的确定31

1.3 清洗的基本程序31

1.3.3 清洗溶剂的选择32

1.3.4 清洗程序及注意事项33

1.4 非金属材料的清洗33

1.4.1 玻璃陶瓷的清洗33

1.4.2 塑料与橡胶的清洗33

1.5 清洁零件的存放34

2 真空材料的除气38

2.1 气体的吸附与脱附38

2.1.1 吸附38

2.1.2 脱附60

2.2 材料除气的基本方法76

2.2.1 加热烘烤除气76

2.2.2 电子束轰击除气76

2.2.3 离子轰击除气80

2.3.1 玻璃材料的除气82

2.3 玻璃及陶瓷材料的除气82

2.3.2 陶瓷材料的除气85

2.4 金属材料的除气86

2.4.1 表面吸附气体的除气86

2.4.2 表面化学反应产生的气体去除88

2.4.3 金属件除气的一般方法及工艺参数89

2.5 电真空器件的除气90

2.5.1 器件外壳的除气91

2.5.2 器件内部电极的除气91

2.6 超高真空系统的烘烤除气92

2.6.1 除气加热方法92

2.6.2 烘烤温度与时间的选择93

2.6.3 循环使用的超高真空系统的除气94

2.6.4 高能粒子轰击除气94

2.7 烘烤除气装置95

3.1.1 真空仪表的选用97

3　真空系统的检测技术97

3.1 真空测量仪表与规管的选用和安装97

3.1.2 真空规管的安装99

3.1.3 规管与被测系统的连接形式101

3.2 真空规管的使用103

3.2.1 温度差对规管的测量影响103

3.2.2 气体及蒸气对真空计测量的影响105

3.2.3 环境热辐射与安装方位对热偶真空规管的影响107

3.2.4 测量系统对测量精度的影响108

3.2.5 其他因素对被测系统的影响113

3.3 特定条件下的真空测量技术114

3.3.1 热偶真空计对不同气体成分的真空测量114

3.3.2 热导式真空计对已知成分的混合气体系统的真空测量115

3.3.3 真空放电指示管及高频真空火花计的应用116

3.3.4 极高真空测量技术117

3.4 真空测量仪表的使用维护与故障检测121

3.4.1 真空测量仪表的基本维护121

3.4.2 电离真空计的故障检测和测量值的修正122

3.4.3 冷阴极磁控电离真空计的使用和维护125

3.4.4 电阻真空计应用中的误差分析127

3.4.5 压缩式真空计（麦氏计）的测量误差分析与使用131

3.4.6 几种真空仪表的常见故障及检修方法136

3.5 真空系统气密性检测148

3.5.1 漏气及其产生原因148

3.5.2 漏孔及其检测149

3.5.3 检漏技术中的常用参数152

3.5.4 检漏方法的选择154

3.6 真空系统常用检漏方法156

3.6.1 充压检漏法156

3.6.2 真空计检漏法158

3.6.3 离子泵检漏法160

3.6.4 卤素检漏法161

3.6.5 高频火花检漏仪检漏方法162

3.6.6 超声波检漏技术164

3.6.7 荧光示踪检漏技术166

3.6.8 质谱仪检漏技术174

3.6.9 真空（负压）氦质谱检漏方法183

3.6.10 正压氦质谱检漏技术187

3.6.11 背压检漏法198

3.6.12 分子泵抽气系统的氦质谱检漏仪204

3.6.13 提高质谱检漏仪检漏效果的方法205

3.7 高真空、超高真空系统的虚漏及漏孔堵塞211

3.7.1 虚漏211

3.7.2 漏孔的堵塞现象211

3.7.3 补漏212

3.8 大型真空装置的检漏与密封213

3.8.1 大型真空容器的氦质谱检漏灵敏度和反应时间213

3.8.2 大型真空容器的密封结构设计216

3.8.3 大型真空容器的检漏结构设计220

3.8.4 钟罩法检漏大型真空容器的焊缝221

3.8.5 大型真空容器制造过程中的检漏222

3.8.6 总装检漏224

3.9 真空装置设计制造及运行中的检漏226

3.9.1 设计阶段的检漏问题227

3.9.2 制造加工过程中的检漏问题227

3.9.3 安装调试阶段的检漏228

3.9.4 运行及维修时的检漏228

3.9.5 真空设备的检漏进行步骤229

3.10.1 漏气率230

3.10 真空容器检漏实例——真空热处理炉的检漏230

3.10.2 真空热处理炉的制造要求与调试232

3.10.3 真空热处理炉使用中出现漏气的分析234

4 真空系统内残余气体的分析与测量237

4.1 真空系统内残余气体的成分分析237

4.1.1 概述237

4.1.2 不同压力及抽气系统下的残余气体成分238

4.2 残余气体在真空系统中的化学反应242

4.2.1 残余气体在真空系统中的反应类型242

4.2.2 残余气体在热表面上的反应243

4.3 真空系统残余气体的测量247

4.3.1 分压力测量的意义247

4.3.2 分压力测量仪248

4.3.3 四极质谱计残余气体分析测量技术249

4.4 降低真空系统残余气体分压力的抽气方法257

4.4.1 溅射离子泵抽气系统257

4.4.2 分子筛吸附泵抽气系统260

4.4.3 降低低温泵抽气系统极限压力的方法262

4.4.4 真空系统内有机气体的清除264

5　真空系统的操作与维护266

5.1 真空系统的组成266

5.1.1 真空系统的形式266

5.1.2 真空机组267

5.1.3 典型真空系统273

5.2 真空系统的安全防护277

5.2.1 真空系统的防护装置277

5.2.2 真空系统的防爆及防泄漏279

5.2.3 系统中磁铁和电气系统的防护280

5.2.4 热及辐射对操作人员的危害281

5.3 机械真空泵抽气系统282

5.3.1 系统的基本操作及注意事项282

5.3.2 机械泵抽气系统清洁真空的获得283

5.3.3 机械真空泵系统抽除水蒸气的措施289

5.3.4 用油封机械泵抽除含腐蚀性和磨蚀性气体296

5.3.5 油封机械真空泵排气油雾的防治299

5.3.6 机械真空泵油的过滤与更换305

5.3.7 含尘气体的真空抽气系统306

5.3.8 机械真空泵系统常见故障排除与维修309

5.4 扩散泵抽气系统320

5.4.1 扩散泵抽气系统组成320

5.4.2 扩散泵抽气系统的操作322

5.4.3 扩散泵系统操作注意问题324

5.4.4 扩散泵抽气系统维护与常见故障排除329

5.5 涡轮分子泵抽气系统333

5.5.1 涡轮分子泵抽气系统的组成333

5.5.2 涡轮分子泵抽气系统操作335

5.5.4 涡轮分子泵系统常见故障及排除337

5.5.3 操作注意事项337

5.5.5 分子泵与气体捕集泵组合的真空系统338

5.6 低温泵抽气系统343

5.6.1 低温泵抽气系统343

5.6.2 系统的操作344

5.6.3 系统操作注意事项346

5.6.4 低温抽气超高真空系统的烘烤348

5.6.5 制冷机低温泵抽气系统的故障及排除350

5.6.6 制冷机低温泵的维护356

5.6.7 制冷机低温泵的再生357

5.7 溅射离子泵抽气系统359

5.7.1 抽气系统操作359

5.7.2 操作注意事项360

5.8 水蒸气喷射泵抽气系统360

5.8.1 水蒸气喷射泵抽气系统组成与抽气过程360

5.8.2 水蒸气喷射泵抽气系统的工作特性361

5.8.3 水蒸气喷射泵抽气系统的辅助部件的配置362

5.8.4 水蒸气喷射真空泵常见故障及其消除方法366

5.9 真空系统的维修方法367

5.9.1 真空系统故障诊断分析367

5.9.2 系统故障的平分检测法370

5.9.3 系统故障的替换检测法371

6 真空工程焊接技术372

6.1 真空技术对焊接工艺的要求372

6.2 真空焊接的分类372

6.2.1 熔化焊372

6.2.2 真空钎焊373

6.2.3 压力扩散焊373

6.3 氩弧焊373

6.3.1 氩弧焊的接头形式374

6.3.2 常用材料的氩弧焊378

6.4 电子束焊382

6.4.1 电子束焊接的原理及特点382

6.4.2 电子束焊接的分类与应用383

6.4.3 电子束焊接工艺384

6.5 激光束焊接388

6.6 真空钎焊388

6.6.1 真空钎焊的应用特点389

6.6.2 真空钎焊接头设计的依据和原则390

6.6.3 真空钎焊接头基本形式392

6.6.4 真空设备中常用钎焊接头的形式396

6.6.5 钎焊焊缝间隙的选择397

6.6.6 真空钎焊用钎料402

6.6.7 真空钎焊工艺415

6.6.8 真空钎焊质量的影响因素及完善措施431

6.7 真空扩散焊接435

6.7.1 概述435

6.7.2 真空扩散焊接设备436

6.7.3 真空扩散焊接工艺439

6.7.4 扩散钎焊440

6.8 超声波焊接442

6.8.1 超声波金属焊接442

6.8.2 超声波塑料焊接444

6.8.3 超声波焊接的特点及应用444

6.9 真空系统的焊接与组装446

6.9.1 大型真空容器密封法兰的焊接446

6.9.2 真空波纹管的焊接447

6.9.3 不锈钢超高真空容器的焊接449

7.1 玻璃-玻璃封接456

7.1.1 概述456

7 真空工程封接技术456

7.1.2 玻璃焊料封接技术457

7.2 玻璃-金属封接459

7.2.1 玻璃-金属封接类型与结构形式459

7.2.2 玻璃封接电极引入结构459

7.2.3 封接材料与接头形式460

7.2.4 封接方法与工艺463

7.3 陶瓷-金属材料的封接468

7.3.1 陶瓷-金属封接材料468

7.3.2 陶瓷-金属封接形式469

7.3.3 陶瓷金属化封接471

7.3.4 真空直接钎焊封接473

7.3.5 陶瓷钎焊应用实例475

7.4 其他材料的封接476

8.1 概述479

8 真空器件的电击穿及预防措施479

8.2 真空间隙的预击穿过程481

8.2.1 真空中金属电极的表面过程481

8.2.2 场致发射引发预击穿484

8.2.3 表面微放电预击穿现象484

8.2.4 微粒预击穿现象486

8.3 真空击穿过程及机理489

8.3.1 真空击穿过程489

8.3.2 场致发射引发的电击穿489

8.3.3 微粒引发的击穿理论491

8.4 影响真空电击穿的因素与预防措施497

8.4.1 影响金属电极间真空绝缘的因素497

8.4.2 减少击穿的措施497

8.4.3 真空抽气技术对真空击穿的影响504

8.4.4 电子管内真空击穿的特征505

参考文献507