图书介绍
小如蚂蚁 半导体传感器与微电子机械系统PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 王渭源主编 著
- 出版社： 长沙：湖南科学技术出版社
- ISBN：7535725252
- 出版时间：1999
- 标注页数：165页
- 文件大小：8MB
- 文件页数：190页
- 主题词：
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小如蚂蚁 半导体传感器与微电子机械系统PDF格式电子书版下载
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图书目录
1 概论1
1．1传感器的作用与地位1
1．2传感器的技术发展6
1．3平面工艺简介12
2 半导体传感器工作原理、结构与特性16
2．1硅材料与硅传感器16
2．2半导体光敏传感器18
2．3半导体力学量传感器30
2．4半导体磁敏传感器37
2．5半导体温度传感器42
2．6场效应管敏感器件46
2．7集成传感器51
2．8发展现状与趋势57
3 微电子机械系统60
3．1电子机械系统与微电子机械系统60
3．2微机械执行器与微电子机械系统的发展62
3．3微机械加工技术66
3．4微机械执行器81
3．5微电子机械系统（MEMS）95
3．6微电子机械系统的发展趋势108
4 国家攀登计划“微电子机械系统”研究成果111
4．1微马达112
4．2微电子机械系统117
4．3技术和材料123
4．4小结和展望131
一、在工业生产控制系统中的应用140
附 应用举例140
二、在汽车和船舶中的应用143
三、在安全、防火方面的应用146
四、在电力测量中的应用147
五、在家用电器中的应用148
六、在医学中的应用149
七、在纺织行业中的应用150
八、在显示器及数码相机中的应用151
九、在尖端武器中的应用152
小词典154