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多重入芯片复杂制造系统生产优化与控制PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
![多重入芯片复杂制造系统生产优化与控制](https://www.shukui.net/cover/2/32215855.jpg)
- 钱省三,郭永辉编著 著
- 出版社: 北京:电子工业出版社
- ISBN:7121063735
- 出版时间:2008
- 标注页数:209页
- 文件大小:66MB
- 文件页数:218页
- 主题词:芯片-微电子技术
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图书目录
第1篇 绪论3
第1章 多重入复杂制造系统概述3
1.1 制造系统中重入的概念3
1.2 多重入复杂制造系统简介3
1.3 多重入复杂制造系统的分类3
1.4 多重入制造类型与传统制造类型的区别4
第2章 芯片复杂制造系统研究概述6
2.1 半导体制造概述6
2.2 半导体芯片制造工艺8
2.3 我国大陆地区大尺寸芯片制造生产模式及发展现状14
2.4 芯片制造系统复杂性分析16
2.5 芯片制造系统国内外研究综述18
第3章 芯片制造系统生产绩效指标及评价22
3.1 芯片制造系统绩效指标22
3.2 基于质量机能展开的芯片制造系统生产绩效评价23
第2篇 芯片复杂制造系统建模及其产能规划31
第4章 芯片复杂制造系统建模31
4.1 系统及其建模的若干基本概念31
4.2 基于IDEFO和Petri网的整合式芯片生产控制系统架构34
4.3 基于Petri网理论的芯片制造系统建模40
第5章 芯片复杂制造系统产能规划46
5.1 约束理论及其在产能规划中的应用46
5.2 半导体芯片制造产能规划建模51
5.3 半导体芯片制造单厂产能规划60
5.4 半导体芯片制造多厂产能规划69
第3篇 芯片制造系统生产线的平衡优化与控制第6章 芯片制造系统生产线平衡问题97
6.1 传统生产线平衡问题97
6.2 芯片制造系统的生产线平衡问题97
6.3 维持芯片生产线平衡的重要性98
6.4 影响芯片生产线平衡的因素100
6.5 维持芯片生产线平衡的管理措施102
6.6 研究假设104
第7章 基于DBR理论的芯片制造系统作业计划105
7.1 DBR理论综述105
7.2 传统DBR理论的修正109
7.3 单一瓶颈设备下的芯片制造系统作业计划方法111
7.4 多台瓶颈设备下的芯片制造系统作业计划方法113
7.5 DBR理论中的缓冲时间改进115
7.6 基于仿真技术的缓冲时间长度的动态确定118
7.7 瓶颈资源生产安排的优化方法121
第8章 基于生产线平衡的芯片制造系统投料策略124
8.1 投料策略中的负荷问题125
8.2 传统动态投料策略的优缺点分析125
8.3 基于生产线平衡的芯片制造系统动态投料策略(RRLB)127
8.4 目标在制品控制量的确定133
8.5 芯片制造系统仿真验证136
第9章 基于生产线平衡的芯片制造系统调度优化研究143
9.1 生产调度优化方法143
9.2 芯片制造系统的传统调度优化方法144
9.3 基于生产线平衡的芯片制造系统新型调度优化方法146
9.4 芯片制造系统调度优化模型147
9.5 芯片制造系统在线调度优化系统构建166
第10章 芯片复杂制造系统集成控制研究170
10.1 芯片复杂制造系统集成控制思想170
10.2 芯片制造系统的集成控制系统172
第4篇 实用篇177
第11章 基于振动理论的新型调度优化(SRVT)方法177
11.1 芯片制造系统优化调度思想设计177
11.2 调度优化思想设计179
11.3 新型调度优化方法仿真验证180
第12章 芯片制造系统现场调度规则182
12.1 现场调度总体规则182
12.2 各加工区现场调度规则182
12.3 芯片制造系统调度人员的能力要求185
12.4 瓶颈设备的管理策略186
12.5 加工区域间晶圆批的传送原则187
12.6 返工调度策略187
附录A 黄光区加工数据188
附录B 基于SRLB策略的调度优化结果190
附录C 符号索引194
附录D 芯片制造系统常用术语200
参考文献201
研究展望与后记209