图书介绍
现代薄膜材料与技术PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 张永宏主编 著
- 出版社： 西安：西北工业大学出版社
- ISBN：9787561250037
- 出版时间：2016
- 标注页数：230页
- 文件大小：104MB
- 文件页数：238页
- 主题词：薄膜－工程材料
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图书目录
第1章 薄膜制备的真空技术基础1
1.1 真空的基本知识1
1.2 真空的获得3
1.3 真空的测量9
复习思考题13
参考文献13
第2章 薄膜的物理气相沉积14
2.1 真空蒸发镀膜14
2.2 溅射镀膜26
2.3 其他物理气相沉积技术50
2.4 分子束外延镀膜技术59
专题1 磁控溅射镀膜技术63
复习思考题76
参考文献77
第3章 薄膜制备的化学方法80
3.1 薄膜的化学和电化学转化80
3.2 薄膜的化学气相沉积94
复习思考题107
参考文献107
第4章 薄膜材料的表征与评价109
4.1 薄膜厚度的测量与监控109
4.2 表面成分和组织结构分析115
4.3 物理和化学性能测试130
4.4 力学性能测试132
专题2 非晶碳膜的结构和性能表征方法145
复习思考题156
参考文献157
第5章 功能薄膜材料及其应用160
5.1 光电薄膜160
5.2 磁性薄膜169
复习思考题180
参考文献180
第6章 超硬薄膜材料及其应用181
6.1 金刚石膜181
6.2 非晶碳膜195
6.3 氮化碳（CNx）薄膜215
复习思考题225
参考文献225