图书介绍

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薄膜的设计、制备及应用
  • 王月花,黄飞编著 著
  • 出版社: 徐州:中国矿业大学出版社
  • ISBN:7564629878
  • 出版时间:2016
  • 标注页数:215页
  • 文件大小:34MB
  • 文件页数:222页
  • 主题词:薄膜技术

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图书目录

1 绪论1

1.1 薄膜光学概述1

1.2 电磁理论基础7

思考题与习题16

2 光学薄膜特性的理论计算17

2.1 光学薄膜特性计算方法17

2.2 光学薄膜的普遍定理23

2.3 单一界面上的反射率和透射率31

2.4 单层介质膜的反射率33

2.5 多层介质膜的反射率38

思考题与习题40

3 光学薄膜系统的设计42

3.1 减反射膜42

3.2 高反射膜47

3.3 分束镜57

3.4 截止滤光片62

思考题与习题68

4 薄膜制备技术69

4.1 真空技术基础69

4.2 薄膜制备方法82

4.3 薄膜厚度的均匀性113

4.4 膜层厚度的监控117

思考题与习题120

5 薄膜的形成与结构122

5.1 凝结过程122

5.2 核的形成与生长过程125

5.3 薄膜的形成与生长131

5.4 薄膜的结构与缺陷134

思考题与习题138

6 薄膜的表面与界面139

6.1 表面界面特征与现象139

6.2 吸附机理与吸附膜的形成机理145

6.3 表面扩散与界面扩散152

6.4 界面电气现象155

6.5 界面接触效应158

6.6 薄膜中的电迁移现象163

思考题与习题165

7 薄膜特性的测试166

7.1 薄膜光学常数的测量166

7.2 薄膜光学性能的测量176

7.3 薄膜成分的表征方法185

7.4 薄膜结构的表征方法190

7.5 薄膜附着力的测量方法195

思考题与习题197

8 几种重要的功能薄膜材料198

8.1 半导体薄膜198

8.2 铁电薄膜207

8.3 光学薄膜210

思考题与习题214

参考文献215

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